Rezisztív
A rezisztív érzékelő olyan eszköz, amely a mért fizikai mennyiségeket, például elmozdulást, alakváltozást, erőt, gyorsulást, páratartalmat, hőmérsékletet stb. ellenállásértékekké alakítja át. Főleg rezisztív nyúlásmérő, piezorezisztív típusú, hőálló, termikus, gázérzékeny, nedvességérzékeny és egyéb rezisztív érzékelő eszközök vannak.
Ellenállásos nyúlásmérő
Az érzékelőben lévő ellenállásos nyúlásmérők fémes nyúláshatásúak, azaz külső erő hatására mechanikai deformáció lép fel, így az ellenállás értéke ennek megfelelően változik. Az ellenállási nyúlásmérőknek két fő típusa van: fém és félvezető, a fém nyúlásmérők pedig huzaltípusra, fólia típusúra és vékonyréteg típusúra oszthatók. A félvezető nyúlásmérők előnye a nagy érzékenység (általában több tucatszorosa a huzal- és fóliatípusokénak) és a kis keresztirányú hatás.
Piezorezisztív
A piezorezisztív érzékelők olyan eszközök, amelyeket diffúziós ellenállással készítenek félvezető anyagok hordozóján a félvezető anyagok piezorezisztív hatásának megfelelően. A hordozó közvetlenül használható mérőérzékelő elemként, a diffúziós ellenállás pedig híd formájában kapcsolódik a hordozóhoz. Ha a hordozót külső erő deformálja, az ellenállásértékek megváltoznak, és a híd megfelelő kiegyensúlyozatlan kimenetet produkál.
A piezorezisztív érzékelőként használt szubsztrát (vagy membrán) anyagok elsősorban szilícium lapkák és germánium lapkák, a szilícium lapkákból készült szilícium piezorezisztív érzékelők, mint érzékeny anyagok egyre nagyobb figyelmet kaptak, különösen a nyomást és sebességet mérő szilárdtest piezorezisztív érzékelők esetében.
RTD
Az ellenálláshőmérséklet mérése azon alapul, hogy a fémvezető ellenállása a hőmérséklet emelkedésével nő. A hőellenállást többnyire tiszta fémanyagokból készítik, a platina és a réz a legszélesebb körben használt, és olyan anyagokat kezdenek használni hőellenállások készítésére, mint a nikkel, a mangán és a ródium.
Az RTD szenzorok a hőmérsékletet és a hőmérséklettel kapcsolatos paramétereket mérik azáltal, hogy az ellenállásérték változik a hőmérséklettel. Ez az érzékelő alkalmasabb olyan esetekben, amikor a hőmérséklet-érzékelés pontosságára van szükség. A kiterjedtebb RTD anyagok a platina, réz, nikkel stb., amelyek jellemzői a nagy hőmérsékleti ellenállási együttható, jó linearitás, stabil teljesítmény, széles hőmérséklet-tartomány és könnyű feldolgozhatóság. A hőmérséklet mérésére szolgál -200 fok ~+500 fok tartományban.